電子特氣管道氦檢漏 特氣管道測試種類有哪些
機器經理路一般是通各個珍禽氣態,需做測試方法軟件工程有：耐壓性測試方法軟件、保壓測試方法軟件、氦檢測試方法軟件、含水率測試方法軟件、氧分測試方法軟件、粉末測試方法軟件。
一、耐壓測試
1.1公測最終目的 給水管在背負直流超高壓后協調點不懂外泄，以加強組織領導很多工作員的可靠。其余管道閥門中的直流超高壓能夠偵測出焊道上是否有有沙孔都存在(沙孔會受為過高的壓為誘發散失)。 1.2測評要求 測驗準確時間為0.5H,測驗壓為法律規定軟件中的的原材料的非常大工作上壓為而定，避開因壓為過大以至于的的原材料毀損。列舉軟件中壓為表非常大測量范圍為400Kpa，則通入壓為要不大于值為400Kpa。無壓降即是憑借。如果有壓降需圈出漏點繼續測驗，也許有一天無壓降截止。 1.3測式產品 工作安全閥 1.4測評前預備 體檢程序方案會不會與PID圖子方案保持一致，審核文件類型、路徑、標志會不會精準。體檢管道文件較大 操作氣壓,預防因軟件測試步驟通入氣壓過高影響球閥搞壞。 1.5注意要點要點 衡量自測區域內整個的電動閥門(涵蓋調壓閥)都是開啟的工作狀態。 1.6檢查的方法 1.6.1將氧氣減壓閥用塑料通道相連接至系統進氣端。 1.6.2緩慢的使用 隔離閥。 1.6.3每一次新增 10 PSIG，變緩的將設計軟件氣壓新增到之后檢驗氣壓的50% 。觀測氣壓表10 到15
一分鐘，看設計軟件是否漏洞。如氣壓表凸顯設計軟件有漏洞，則急劇減小設計軟件氣壓處以理漏點。按順序所述運營。 1.6.4填寫設備無一點信息泄露后，一點一點的加劇設備各種壓為到自測值，斷掉氧氣減壓閥，分析各種壓為表30 半個小時看設備是否存在信息泄露。 1.6.5在系統性的學習各種心理壓力安穩并顯現無一些壓降后，在學習各種抗壓檢驗儀意見書中的記錄檢驗儀逐漸時的溫濕度、時期和學習各種心理壓力值。
二、保壓測試
2.1公測原因 保證 蒸汽管道輸送管體統的就沒有突出的漏泄，是為了對蒸汽管道體統的做氦測漏。 2.2檢測標準 測試英文英文用時為24幾小時，測試英文英文學習阻力差不少于結構設計學習阻力差的1.15倍，經平均體溫校正后的禁止學習阻力差降為太小于開始學習阻力差的1%.學習阻力差變動式子式(要了解到到平均體溫作用) P2=公測完結心理壓力值 (PSIG) P1=公測展開心理壓力值(PSIG) T2=檢測收尾攝氏度值 (℃) T1=檢查慢慢室溫值(℃) Pta=決定到高溫決定的壓力差轉化值 2.3自測專用工具 保壓計 2.4試驗步驟 1.將安全閥用合金金屬熱力管道鏈接至控制系統出口端。 2.慢慢地打開微信防護閥。 3.每天加大 10 PSIG，慢的將程序壓為加大到不可能試驗壓為的50% 。觀察分析壓為表10 到15
1分鐘，看程序沒有漏洞。如壓為表現示程序有漏洞，則減掉程序壓為處以理漏點。重復使用上面基本操作。 4.核實設備無某些液化氣泄漏后，就這樣的曾加設備經濟經濟壓力差到軟件測試值，斷線氧氣減壓閥，數據好溫、時長、經濟經濟壓力差值，24H后關察經濟經濟壓力差是否需要有壓降。 5.在整體的學習壓力差值穩固并呈現無很多壓降后，在學習壓力差值試驗方法該報告中記錄時間段試驗方法就開始時的的溫度、時間段和學習壓力差值值。 2.5檢查結束了之后小心方式方法 1.在試驗圖片申請書中記錄好下試驗圖片的運作。將操作系統化的各種壓力放出，在做氦測漏事先用高純N2對操作系統化做保持的吹掃0.5H。 2.將工作壓力公測用的管路拆除違建，用堵頭來密封帶系統并運用新的密封墊。 3.比如由工作溫度所給予的心理壓力減低少于了需求，可以通過關上軟件測試范圍圖內的裝置伐門來 開全部的隱藏漏點，留意不同于的不同于隔開組成部分的壓降。 4.在將漏點防護和解決最后，從復所述考試步聚。
三、氦質譜檢漏測試
3.1測試作用 應用氦質譜儀感測漏入模式中的輕微的氦氣來測漏，并依據的檢測到的氦氣的量來明確漏率的程度。 3.2涉及到名稱及理解 正空系統度：出現正空系統狀況下的氣態稀稠層次，平常用“正空系統性好”和“正空系統度低”來指出。 機械泵度組織：Torr 、Pa。 1托=1/760十足壓=1mm毫米汞柱 1托=133.322帕 1帕=7.5×10-3托 漏率：密閉式負壓環境空間在外力基準豪邁壓和的單位時期內， 的物質泄露的頻率。 漏率使用公司的：Pa.m3/sec、mbar.l/sec、atm.cc/s 10 Pa.m3/sec=1 mbar.l/sec=1 atm.cc/s 分子結構式泵：憑借高速的平移的槳葉，當實驗室氣體分子結構式與齒輪葉輪葉片相碰撞測試時就被驅向撒氣口再由前級泵抽除。 3.3檢驗檢測儀器 氦質譜檢漏儀 3.4自測前的準備 1.裝置成功創業的的按照了保壓檢漏。 2.明確軟件的擁有機件都能承受得下真空系統壯態而不毀壞。 3.先對測漏儀其本身閥組及拼接管道閥門采取漏率測量。 4.測漏儀與系統壓縮空氣管接起前，要將被測系統內的有害氣體揮發掉。 5.慢慢打開微信測漏儀在口中處的止回閥，將測漏儀與聚氨酯保溫管系統性防護閥中的聚氨酯保溫管抽機械泵，終將測漏儀呈現的時代背景漏率遠低于 1× 10-9 mbar.l/s。 6.對接入輸送管上全部的的焊道及機械化接入處參與氦氣噴吹。 3.5測試措施措施 1.確保系統軟件相應有的單向閥和調壓閥都有高畫質的。 2.詢問機設備中的有壓力為0，如果機設備中還負壓，要先將機設備中的有害氣體放下去。 3.緩緩的拆開檢漏儀進氣口處的調節閥，已經開始將整體傭金真空泵壯態。遵照執行檢漏儀的方法表示方法，必定會滿足就可以在線檢測的壯態。 4.信息下檢漏儀的大環境氦漏率，該大環境氦漏率超過1 ×10-9 mbar.l/s日后，才就可以來噴吹本職工作。 5.從最緊靠檢漏儀的焊道或連結處展開論文監測，將氦氣用噴槍噴吹到焊道或連結處，促使氦氣會停歇在焊道或連結處一次時間，驗收不會泄密后，來進行下的焊道或連結處的論文監測，到在最后的焊道或連結處。 6.如若發展檢漏儀的告訴值有升高的的現象，待到檢漏儀讀值治愈正常情況后，二次檢查該焊道或銜接并處認可其是否能夠確定有漏，如若認可非該焊道或銜接處有漏，要由小到大檢查該焊道或銜接處過后的焊道或銜接處，終會搜到漏點結束。 7.一直到全部的常閉觸點都被檢驗到，檢驗良好率的常閉觸點要貼良好率標示。全部的常閉觸點都噴吹過氦氣后，依然考察檢漏儀的讀值10分以內，根本讀值都沒有問題后才可以將平臺與設備兩者隔離開。 8.如各個觸頭的氦氣漏率都降到1× 10-9 mbar.l/s，反映該模式的漏率是貼合要的。測試圖片人員管理能夠 將在線判斷意見書記下在在線判斷意見書里了。 9.將檢漏儀與系統拆開。
四、水分、氧分、顆粒檢測(三臺儀器并聯使用)
4.1檢測意圖和檢測規則 含水率監測的重要性基本是因為制止pvc管道內水的含量過高時，會會出現物理響應，對制造誘發關系。 氧分測量的重要性核心是要為禁止管材內氧份量過高時，會發生生物學上的發應，對制造導致印象。比如說，基帶芯片在制作的過程 中，原先美觀中O2會和Si形成生物學上的發應:O2+Si=SiO2,為原有的鈍化成，這樣管材內的氧份量過高，原有的鈍化層會增加原先以及計算的好的體積尺寸，這樣一來會明顯印象下面來各時段的制造。 粉末測量大部分是測量輸送管線內顆粒子的顆粒直徑數值和次數有多少。但如果輸送管線內顆粒子不能會對Wafer良率不良影響挺大。 探測規格： 水汽查測 ≤10ppb 氧分檢側 ≤10ppb 顆粒肥料論文檢測 0.1um≤5pcs,0.1um上文為0pcs 4.2測量檢測儀器 水量儀 氧分儀 科粒儀 4.3檢查技巧 1.將吹掃汽源接入到整體進氣端，其它止回閥正處在進入的情況。 2.累計吹掃2H后用五金導壓管無線連接系統的排氣端至測試英文測試英文機器設備進氣端。使氣體通入機器設備，10半小時后打開瀏覽器外接電源，放置機器設備各種叁數后逐漸開始測試英文測試英文。 3.待考試數據資料源提高原則規定要求后，記錄好考試數據資料源，停用進氣端和排氣端氣動閥門，使管道鋪設內堅持壓縮空氣。 4.檢測機械實驗儀器機械停電，實驗儀器機械與機械提取。
