特氣模式機為潔凈度室里所有的工藝設施設備設計機提高流程的工藝設施設備設計其他氣體，是混雜集成型化渠道必切不可缺的本質機，隸屬于混雜集成型化渠道的本質紫裝，將支持力微電子無線技術器材師范學院科技創新和教育。本機的搭建而對于電子無線器材科學研究與技術和光學儀器建筑工程基礎學科搭建有根本的效果，年選用機時不不低于3000 天。

　　該類目空氣常見共出25種，含17種毒腐/易燃物爆/極危險的特類空氣和8種普通的高純空氣。安裝全自功特氣柜GC、全自功氣瓶架GR、特類空氣VMB、特類空氣VMP、管氣力輸送機管軟件軟件(有雙防水套管管氣力輸送機管軟件軟件)、2次配、排放物電鍍廢水辦理裝備Scrubber、人的一生安全性高軟件軟件GMS、通風系統及排放物辦理。