CVD設備的scrubber的功能原理及其安裝位置

　　CVD設備scrubber的功能

　　CVD儀器scrubber大多上是專為CVD儀器排放解決設計方案方案的裝置。CVD排放一般 含許多顆料和不可解決的未發應、爆破性、可燃性性或毒素的氣體廢水。scrubber是一個種專為可以減少后面解決的困難和平安性而設計方案方案的裝置。可以使用整體scrubber專業化CVD儀器單臺或數臺，

　　scrubber設備廢氣處理方式(處理廢氣原理)

　　scrubber裝置解決廢水其主要會按照燃燒型、升溫型、等亞鐵離子型，機洗等標準流程，會按照情況下有所差異備選的解決手段也有所差異。　　scrubber通過有差異的制作工藝產生有差異的尾氣排放;考慮有差異的工作方式!　　1、scrubber該機器設備收錄電升溫型、氣體積、降解劑性型和等亞鐵離子體積。降解劑性型還要更改降解劑性桶，運行開來相對應比較，但維系開來最更方便。　　2、一般 ，可不能能調溫干洗型，而且可不能能操作干洗調溫再干洗型。SiH4在燒燃后與SIO2響應。NH3與水響應轉為結晶體。NF3、WF3、SIF4、C2F6的亞鐵離子鍵在燒燃時會加載，與水響應轉為氟化氫。

　　scrubber設備的安裝位置

　　scrubber主設配一般來說裝置在主設配高壓氣泵和有機有機廢氣產生總管期間。有毒性會傷有機有機廢氣由高壓氣泵抽至scrubber主設配采取加工處理，其次產生去。