命名：單瓶特氣柜(Gas Cabinet)規格：單工藝氣瓶，半自動

材質：HSPGC150104 

特氣柜尺寸：W550寬×D500深×H1800高 

■ 外吹掃：PN2，1/4"MVCR標準接口 ■ 抽真空室：GN2，1/4"MVCR音頻接口 ■ 自動隔閡閥：CDA控制，1/4"卡套接口協議 ■ VENT放空管：1/2MVCR接口標準 ■ 工序有機廢氣氣體進口：1個，1/4"MVCR電源接口 ■ 股票股票盤面金橋銅業跨接線的截面積大小：1/4"股票股票盤面■ 標準規范配置：防震防腐蝕柜身，防震自鎖門，防震鋼化玻璃了解窗，外泄報警器功能，遠程電腦切割，欠壓報警器功能，主材SS316L■ 衣柜平開門送風量:4"泄壓閥口，1200次/分鐘■ 掌控柜大小：W550寬×D230深×H320高 ■ 把控柜24v電源：220VAC，50HZ，200W，漏電養護■ 運行畫面：7"顏色觸模屏■ 選型：的工藝設計氣瓶自重監視器器，的工藝設計實驗室氣體背壓式汽輪機報警功能聲音，表盤調溫及溫度控制設備，報警功能聲音數字信號安卓手機短消息與電活控制 

適用范圍：應用在 MOCVD、PECVD、刻蝕機等配套設備上，適用于高校實驗室、材料分析實驗室、芯片半導體、光伏太陽能電池、生物醫藥工程、微電子新材料等行業。