種類：單瓶特氣柜(Gas Cabinet)規格：單工藝氣瓶，半自動

類型：HSPGC150104 

特氣柜尺寸：W550寬×D500深×H1800高 

■ 外吹掃：PN2，1/4"MVCR電源接口 ■ 抽真空泵：GN2，1/4"MVCR接口協議 ■ 液壓隔離膜閥：CDA驅程，1/4"卡套模塊 ■ VENT排掉管：1/2MVCR插孔 ■ 工藝設計實驗室氣體出口值：二個，1/4"MVCR音頻接口 ■ 表盤規格為：1/4"表盤■ 規范標準選配：隔爆型防腐材料柜子，隔爆型自鎖門，隔爆型夾絲玻璃留意窗，泄露提醒，遠程管理掐斷，欠壓提醒，主材SS316L■ 櫥柜柜門通風量:4"泄壓閥口，1200次/小時候■ 操作柜外形尺寸：W550寬×D230深×H320高 ■ 調控柜24v電源：220VAC，50HZ，200W，漏電護理■ 運行對話框：7"色彩觸感屏■ 標準配置：施工新工藝氣瓶單重網絡監控器，施工新工藝甲烷氣體背壓式汽輪機告警，日線圖燒水及溫度控制器控制系統，告警數字信號蘋果六手機短消息與辦公電話通告 

適用范圍：應用在 MOCVD、PECVD、刻蝕機等配套設備上，適用于高校實驗室、材料分析實驗室、芯片半導體、光伏太陽能電池、生物醫藥工程、微電子新材料等行業。