名稱：閥門分配箱(Valves Manifold Box)

　　規格：一進16出

　　型號：HSPVMB130616

　　■ 特氣柜尺寸圖：W550寬×D500深×H600高　　■ VENT放空管：1/2MVCR端口　　■ 生產技術氣休：1進N出(N=2~16)　　■ 股票k線規格尺寸：1/4"股票k線　　■ 標準規定具備：防爆設備設備設備防腐蝕柜身，防爆設備設備設備自鎖門，防爆設備設備設備窗玻璃查看窗，用戶名報警信號，主材SS316L　　■ 膽機機箱通氣量: 4"泄壓閥口，SiH4-1200次/幾幾小時，剩下的300次/幾幾小時　　■ 選擇：外吹掃，抽真空度，全半自動保持，生產工藝乙炔氣過載告警，遠程關機斷掉，表盤加溫及溫度控制器安全裝置，泄露告警，告警數據手機號信息與點話通知書

　　適用范圍：應用在 MOCVD、PECVD、刻蝕機等配套設備上，適用于高校實驗室、材料分析實驗室、芯片半導體、光伏太陽能電池、生物醫藥工程、微電子新材料等行業。