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氣路管道國標要求

2020-12-03
氣路管道國標要求-特氣管道系統的不銹鋼選材 對于特種工藝氣體而言，由于在芯片生產中需要與芯片接觸并參與反應，因此需選用經電解拋光（Electro-Polish）處理的316L不銹鋼管，即SS316L EP管，其耐腐蝕性好，表面粗糙度低，Ramax（最大表面粗糙度）<0.7微米。光滑的表面使顆粒無從吸附滯留，從而保證氣體的純度。 對普通氮氣而言，由于其并不作為制程中的反應氣體，可以選用經光輝燒結（Bright Anneal）處理的316L不銹鋼管，即SS316L BA管，也可以采用經化學清洗（Chemical Clean）處理的316L不銹鋼管，即SS316L CC管。其Ramax為3-6微米。

529--------m.186qk.cn

1024--------m.sereb.cn

218--------m.027love.com.cn

433--------m.flbi.cn

41--------m.owid.cn

961--------m.viv88.cn

516--------m.w8595.cn

923--------m.asd521.cn

455--------m.dongoog.cn

707--------m.jjspmx.com.cn

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