氣體種類及特殊氣體供氣方式分析

　　氣體種類及特殊氣體供氣方式分析

　　非常規甲烷的氣體的類別一樣可包括金屬酸性、毒素、可燃性、助燃性、惰性等，一樣使用的半導甲烷的氣體細分如下所示：　　一、的氧化性/毒素：HCL、BF3、WF6、HBr、SiH2CL2、NH3、PH3、CL2、BCL3...等　　二、可燃性：H2、CH4、SIH4、PH3、AsH3、SiH2CL2、B2H6、CH2F2、CH3F、CO... 等　　三、助燃性：O2、CL2、N2O、NF3...等　　四、惰性：N2、CF4、C2F6、 C3F8、SF6、CO2、Ne、Kr、He...等

　　特殊氣體供氣方式

　　專項 氣休的銷售方案截止期現下已經，近乎皆用設備的方案對其進行，大部分選用的為髙壓設備，但依其圖案填充的氣休特點有可分類氣態與等離子態設備，

　　1、氣態瓶：其安置壓為亦高，混合氣物以氣態吸收于瓶內﹔低蒸汽發生器壓的混合氣物則以等離子態吸收于瓶內。　　2、離心分離劑式固體保管液化氣鋼瓶：即可謂的安全可靠各類高壓電氧氣減壓閥(SDS,Safe Delivery Source)，可藉由媒介如沸石和靈活性炭纖維面對定的固體如PH3、AsH3、BF3、SIF4等確定物理性離心分離劑，以固體團伙與離心分離劑劑間的瓦力將固體離心分離劑于離心分離劑劑的孔喉重，其優點有哪些為各類高壓電經濟壓力不低于—層結壓，無外泄閑暇之余。

　　氣態鋼瓶和吸附氣體儲存鋼瓶安全性對比

　　經研究最終，縱然用戶名亦不讓其有火爆或出現做到影響人體的有毒的氣體鹽濃度，安全可靠性佳，又很批售量可以給傳統化低壓液化氣鋼瓶的數倍至十余倍。然這類的供氧無發食用于迄今為止其它的半導體器件的氣體，亦少晶圓廠食用這類的整體采取地方集中點式的批售措施，因文中將改不了其多作審議，僅提交這類的批售措施的特質供用戶參考選取。

　　特殊氣體應用流程

　　面向腐化性、毒副作用、燒燃性的空氣，一般說來有將氧氣瓶放在氣瓶柜(GAS Cabinet)內，再映出聚氨酯保溫管將空氣生產至實地現場附進的閥箱(VMB,Valve Manifold Box)，而為再入駐生產工藝機臺的適用電(Pou,Point Of Use),于入駐機臺腔體已經，會出獨自的空氣操控盤(GB,Gas BOX)與生產工藝操控輸出模塊聯機，以質流操控器(MFC,Mass Flow Controller)完成流量數據之空調的使用與進氣的比調配比操控，一般說來此空氣操控盤不一種廠務模式的制定領域，卻是隸屬生產工藝機臺機器設備的一個分。　　一樣的惰性實驗室氣體則是以開啟式的氣瓶架(Gas Rack)與閥盤(VMP,Valve Manifold Panel) 確定生產。具體的描素與探討一下將在下節確定，目前僅舉一簡潔的三種其他集中供熱環節整體規劃的示范