氣體種類及特殊氣體供氣方式分析

　　氣體種類及特殊氣體供氣方式分析

　　獨特其他其他氣體的分為基本可氛圍浸蝕性、毒素、可燃性、助燃性、惰性等，基本實用的半導體技術其他其他氣體分為詳細：　　一、灼傷性/致毒：HCL、BF3、WF6、HBr、SiH2CL2、NH3、PH3、CL2、BCL3...等　　二、可燃性：H2、CH4、SIH4、PH3、AsH3、SiH2CL2、B2H6、CH2F2、CH3F、CO... 等　　三、助燃性：O2、CL2、N2O、NF3...等　　四、惰性：N2、CF4、C2F6、 C3F8、SF6、CO2、Ne、Kr、He...等

　　特殊氣體供氣方式

　　特定汽體的出售方式方法最遲到目前截止截止，近乎皆用設備的方式方法確定，尋常通用的為高壓電設備，但依其充填的汽體特征有可氛圍氣態與液太設備，

　　1、氣態瓶：其插入阻力亦高，固體以氣態會自動存儲于瓶內﹔低蒸氣壓的固體則以固體會自動存儲于瓶內。　　2、吸出式的氣物會自動儲存設備：即常說的可靠油田電供氣(SDS,Safe Delivery Source)，可藉由物料如沸石和親水性碳看待定的的氣物如PH3、AsH3、BF3、SIF4等做初中物理吸出，以的氣物分子式與吸出劑間的瓦力將的氣物吸出于吸出劑的孔隙率重，其長處為油田電壓為不超—大氣質量壓，無漏洞勞逸結合。

　　氣態鋼瓶和吸附氣體儲存鋼瓶安全性對比

　　經測試沒想到，全部的外泄亦不如能產生我們或導致的如能傷害人休的天然氣密度，應急性佳，同時還供貨量可以為過去高電壓設備的數倍至十余倍。然四種集中授課供熱時未在選擇于現全部的的半導乙炔氣，亦少晶圓廠在選擇四種裝置做中集中授課式的供貨玩法，因而這篇將不好其多作談話，僅提出了四種供貨玩法的優缺點供客戶參考價值。

　　特殊氣體應用流程

　　真對的腐蝕刺激性、毒副作用、燒性的相溶相溶氣味，一般 涵蓋將氣瓶放置于氣瓶柜(GAS Cabinet)內，再穿透內部管道將相溶相溶氣味供貨至場所附近商場的閥箱(VMB,Valve Manifold Box)，其后再開啟制造機臺的操作電(Pou,Point Of Use),于開啟機臺腔體的時候，會獨立自主的相溶相溶氣味把握盤(GB,Gas BOX)與制造把握摸塊聯機，以質流把握器(MFC,Mass Flow Controller)對其進行用戶流量之老板桌與進氣的相溶百分比把握，一般 此相溶相溶氣味把握盤不都屬于廠務系統的的定制基本原則，然而是歸入制造機臺主設備的是一大部分。　　一半的惰性氣味則是以封閉式式的氣瓶架(Gas Rack)與閥盤(VMP,Valve Manifold Panel) 開始提供。簡略的講述與討論稿將在下節開始，現如今僅舉一方便的多種有差異集中供熱方案規化的典例