400-900-9093
一、半導體/集成電路
蓋斯帕克常期與融合電源線路產家達成合作,專用制作制作裝置的高純的EP級特氣柜、氣體分配柜廣泛用于濕蝕刻(wet etching)、干蝕刻(dry etching)、自然壓電學氣質聯用淀積(APCVD)、低壓化學氣相淀積(LPCVD)、等離子體化學氣相淀積(PECVD)、濺射(PF)、光刻等半導體設備的供氣服務,同時還算征對各家工廠的實際特點,量身定制地開發了危險氣體監控管理系統(GDS),為廠家的安全生產保駕護行。還相應開發了上述生產設備的尾氣處理系統,保證了工廠廢氣的排放達標